氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進氣系統、過濾系統、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結構，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構，夾層內設置蛇形導流板，既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。 　　加熱及保溫層，發熱體采用帶式合金發熱體，分三個加熱區，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復合保溫結構，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強度，采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空，并設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　在真空燒結爐超高溫度的控制中，電阻溫度系數較大的加熱元件得到了廣泛應用。這些加熱元件具有特殊性能，通過使用，使加熱器的使用壽命得到了顯著提高。 　　在工業爐上進行快速升降溫工藝，就要使用超高溫加熱材料。另外，其他高溫熱處理、真空釬焊、燒結以及需要快速升溫的真空燒結爐設備中，超高溫的加熱元件也都有可能被使用。 　　常用溫度高于1500℃的加熱材料有金屬材料、非金屬材料、金屬化合物、合金材料等，這些材料在常溫下與高溫下，電阻值相差巨大。因此，在真空燒結爐升溫過程中，對加熱元件進行控制具有一定難度。 　　因此，在使用高溫熱處理爐時，一般會采用變壓器分段調壓、可控硅移相調壓、程控斜率升溫等方法進行調控。手動調節相對簡單，但難以滿足自動化生產要求，工藝重復性差，還可能因操作失誤，損壞加熱元件。