氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進氣系統、過濾系統、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結構，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構，夾層內設置蛇形導流板，既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。 　　加熱及保溫層，發熱體采用帶式合金發熱體，分三個加熱區，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復合保溫結構，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強度，采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空，并設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　真空燒結爐是我公司工程技術人員消化和吸收國內外*的測溫、控溫技術、智能化、新材料技術和爐膛設計技術，推出的一項特別適合硬質合金行業和陶瓷行業的高性能智能化電爐。 它是一種間歇式高真空爐，按照燒結工藝時間的需要可以單套電源配置多臺電爐，分別對單個爐子進行通電升溫和斷電降溫，實現連續工作。 　　用途：應用于硬質合金、銅鎢合金、鎢、鉬、鋁鎳鈷永磁、SmCo5、Sm2Co17及釹鐵硼、鈦合金等合金材料、陶瓷的真空燒結。 　　特點：2400℃以內超高溫爐體，可完全滿足各種材料的燒結。采用數顯化智能控溫系統，全自動高精度完成測溫控溫過程，系統可按給定升溫曲線升溫，并可貯存二十條共400段不同的工藝加熱曲線。采用內循環純水冷卻系統，數字式流量監控系統;采用高性能中頻接觸器對爐體進行自動轉換; ***的PLC水、電、真空度自動控制和保護系統。 　　主要技術參數： 　　*使用溫度：1600℃、2000℃、2400℃ 　　高溫區容積：0.01m3、0.02m3、0.03m3、0.05m3、 0.1m3、 0.15m3、0.2m3 、0.3m3 　　爐內工作氣氛：真空 　　真空度：6.67X10-3Pa 　　溫度均勻度：≤±10℃ 　　溫度測量：遠紅外線光學測溫，測溫范圍800~2400℃或0~2400℃;測溫精度：0.2~0.75%。 　　溫度控制：程序控制和手動控制; 控溫精度：±1℃ 　　極限升溫速度：200℃/分鐘(空爐，視高溫區容積和爐膛結構而定)